一覧に戻る

タイトル
  • Development of Bipolar Electrostatic Chuck with a Beam-Array Assembly Fabricated by Lithography
作成者
    • 田岡, 祐樹
    • Taoka, Yuki
    • 河鰭, 康平
    • Kawabata, Kohei
    • HEMTHAVY, PASOMPHONE
    • HEMTHAVY, PASOMPHONE
    • 崔, 勝萬
    • CHOI, SEUNGMAN
    • 高橋, 邦夫
    • TAKAHASHI, KUNIO
    • 齋藤, 滋規
    • SAITO, Shigeki
アクセス権 metadata only access
内容注記
  • Other identifier:oai:t2r2.star.titech.ac.jp:50631463
日付
    Created2022-07-29 , Issued2022-07
言語
  • eng
資源タイプ technical report
出版タイプ NA
資源識別子 URI http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100880610
収録誌情報
  • International Journal of Automation Technology
  • 巻16 号No. 4 開始ページ471 終了ページ477
コンテンツ更新日時 2025-08-10