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タイトル
  • ja シンクロトロン放射光照射によるAlの熱CVD反応制御に関する研究
  • ja-Kana シンクロトロン ホウシャコウ ショウシャ ニ ヨル AI ノ ネツ CVD ハンノウ セイギョ
作成者
    • ja 上杉, 文彦 crnt Personal ja-Kana ウエスギ, フミヒコ crnt Personal
アクセス権 open access
言語
  • jpn
資源タイプ doctoral thesis
出版タイプ VoR
資源識別子 HDL https://hdl.handle.net/11094/1245 , DOI https://doi.org/10.11501/3075301
ID
  • JaLC 10.11501/3075301
学位情報
  • 学位授与番号 乙第06312号
  • 学位授与機関
    • 機関名称 大阪大学
  • 学位授与年月日 1994-03-16
  • 学位名 博士(工学)
ファイル
コンテンツ更新日時 2024-08-07