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タイトル	ja 窒化アルミニウム薄膜の作製と弾性表面波デバイスへの応用に関する研究
作成者	ja 岡野, 寛
日付	Issued1994-09-30
言語	jpn
資源タイプ	thesis
出版タイプ	VoR
資源識別子	URI https://ousar.lib.okayama-u.ac.jp/7119
学位情報	学位授与機関 機関名称 岡山大学 学位授与年月日 1994-09-30 学位名 博士（工学）
ファイル	https://ousar.lib.okayama-u.ac.jp/files/public/0/7119/2016052718204748011/O002807.pdf https://ousar.lib.okayama-u.ac.jp/files/public/0/7119/20160527182047512285/O002807_honbun.pdf
コンテンツ更新日時	2024-01-26