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タイトル	ja SiC/SiCターゲット用新製造プロセスの検討
作成者	ja 朴, 峻秀 en PARK, Joon-Soo ja-Kana パク, ジュンス ja 香山, 晃 en KOHYAMA, Akira ja-Kana コウヤマ, アキラ ja 岸本, 弘立 en KISHIMOTO, Hirotatsu ja-Kana キシモト, ヒロタツ ja 中里, 直史 en NAKAZATO, Naofumi ja-Kana ナカザト, ナオフミ ja 神田, 千智 en KANDA, Chisato ja-Kana カンダ, チサト ja 早坂, 大輔 en HAYASAKA, Daisuke ja-Kana ハヤサカ, ダイスケ ja 青木, 正治 en AOKI, Masaharu ja-Kana アオキ, マサハル ja 牧村, 俊介 en MAKIMURA, Syunsuke ja-Kana マキムラ, シュンスケ ja 的場, 史朗 en MATOBA, Shiro ja-Kana マトバ, シロウ
アクセス権	open access
権利情報	ja © 2017 室蘭工業大学地域共同研究開発センター
主題	NDC 501
内容注記	Other application/pdf
出版者	ja 室蘭工業大学地域共同研究開発センター
日付	Issued2017-02
言語	jpn
資源タイプ	departmental bulletin paper
出版タイプ	VoR
資源識別子	HDL http://hdl.handle.net/10258/00009767 , URI https://muroran-it.repo.nii.ac.jp/records/9819
関連	isIdenticalTo NAID 40021174245 URI https://www.muroran-it.ac.jp/crd/publications_cat/research-report/ https://www.muroran-it.ac.jp/crd/publications_cat/research-report/ isVersionOf URI https://www.muroran-it.ac.jp/crd/wp/wp-content/uploads/2018/04/No27-ken.pdf
収録誌情報	NCID AN10363915 ja 室蘭工業大学地域共同研究開発センター研究報告 巻27 開始ページ10 終了ページ14
ファイル	fulltext No27-ken_10-14 1.5 MB (application/pdf) Available2019-03-14
コンテンツ更新日時	2024-01-12