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タイトル	ja AlN圧電薄膜へのCa添加の影響
作成者	ja 田中, 早紀 en Saki, Tanaka ja-Kana タナカ, サキ 所属 ja 九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻 en Molecular and Material Sciences, Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
アクセス権	restricted access
権利情報	ja 著者の意向により本文ファイル学内限定公開 en Public access to the fulltext file is restricted to on-campus network by author reason
内容注記	Other ja 修士（工学）
日付	Issued2018-03-20
言語	jpn
資源タイプ	master thesis
出版タイプ	VoR
資源識別子	HDL https://hdl.handle.net/2324/1937988
学位情報	学位授与機関 識別子名 kakenhi 識別子 17102 機関名称 ja 九州大学 en Kyushu University 学位授与年月日 2018-03-20 学位名 ja 修士 学位名 en MASTER
コンテンツ更新日時	2025-01-25