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タイトル	en InP/GaInAs多層膜のAES深さ方向分析のラウンドロビン試験報告（I）
作成者	著 en Ogiwara, Toshiya ORCID 0000-0002-7376-6571 著 en Tanuma, Shigeo ORCID 0000-0003-2628-9941
アクセス権	open access
主題	Other Auger Depth Profiling Analysis Other InP/GaInAs Specimen Other Round Robin Test
出版者	en Surface Analysis Society of Japan
日付	Issued1995-11-16 , Updated2022-10-03
日付（リテラル）	16/11/1995
言語	und
資源タイプ	journal article
出版タイプ	AO
資源識別子	URI https://mdr.nims.go.jp/pid/b2949618-3c32-471b-aedd-c0959c48b46c , DOI https://doi.org/10.48505/nims.3047
ファイル	fulltext Vol.1_No.3_374-387.pdf 902KB (application/pdf) Updated2025-03-25
コンテンツ更新日時	2025-12-08